昭和電工2016年12月5日宣布，在用作液晶及半導(dǎo)體清洗劑的高純度溶劑“Solfine”系列中開(kāi)發(fā)出了新級(jí)別產(chǎn)品，將在德山事業(yè)所(日本山口縣周南市)新設(shè)精煉設(shè)備。新級(jí)別產(chǎn)品的純度達(dá)到99.95wt%以上，原級(jí)別產(chǎn)品則為99.50wt%以上。該公司將把新級(jí)別產(chǎn)品主要作為半導(dǎo)體光刻膠用溶劑來(lái)供應(yīng)。

　　新級(jí)別產(chǎn)品的水分從原來(lái)的0.10wt%以下減至0.01wt%以下。金屬保證項(xiàng)目從18項(xiàng)增至26項(xiàng)，金屬保證級(jí)別從1.0wtppb以下提高到0.1wtppb以下。每mL的顆粒(0.1μm)數(shù)量從500個(gè)以下減少至100個(gè)以下。

　　新設(shè)備將從半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域中需求有望擴(kuò)大的環(huán)已酮以及多種溶劑開(kāi)始生產(chǎn)，陸續(xù)擴(kuò)充產(chǎn)品線。除了用中小型容器供貨之外，還將實(shí)現(xiàn)大型容器的裝運(yùn)，比如利用原來(lái)被認(rèn)為難以保持品質(zhì)的槽罐車等。

　　隨著半導(dǎo)體集成度不斷提高，用戶對(duì)光刻膠中占90%構(gòu)成比例的溶劑也提出了品質(zhì)改善要求。因此，昭和電工以實(shí)現(xiàn)超高純度溶劑為目標(biāo)，開(kāi)始實(shí)施技術(shù)驗(yàn)證并考慮設(shè)置相關(guān)設(shè)備。由于試制品獲得了可靠的成果，因此該公司決定為新級(jí)別產(chǎn)品新設(shè)精煉設(shè)備。